Vorrichtung zur Lichtstrukturierung unter Verwendung von Kippspiegeln in einer Superpixelanordnung

EP1717640 Art A3 15. November 2006

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1717640
Aktenzeichen
EP06252250
Anmeldetag
27. April 2006
Veröffentlichung
15. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B26/00H04N9/31G09G3/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Holding N.V.
ASML Netherlands BV
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.359 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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