Vorrichtung zur Lichtstrukturierung unter Verwendung von Kippspiegeln in einer Superpixelanordnung
Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1717640
- Aktenzeichen
- EP06252250
- Anmeldetag
- 27. April 2006
- Veröffentlichung
- 15. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B26/00H04N9/31G09G3/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
ASML Netherlands BV - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
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Leeming, John Gerard
NoneLondon