Dampfphasen-Abscheidungsverfahren

EP1717846 Art B1 19. November 2014

Anmelder: Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1717846
Aktenzeichen
EP05719124
Anmeldetag
15. Februar 2005
Veröffentlichung
19. November 2014
Erteilung
19. November 2014
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/203H01L21/02C30B23/02C30B25/02C30B29/40
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nippon Mining & Metals

Nippon Mining & Metals war ein japanisches Unternehmen für Metallverarbeitung und Halbleitermaterialien, heute Teil von JX Nippon Mining & Metals. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Fertigungs- und Chemietechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2000 bis 2010 und betreffen unter anderem Kupferfolienverbundstoffe.

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