Verfahren zur Herstellung eines Siliziumoxidfilms

EP1717848 Art A1 2. November 2006

Anmelder: TOAGOSEI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1717848
Aktenzeichen: EP05719227
Anmeldetag: 17. Februar 2005
Veröffentlichung: 2. November 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/316C23C16/42H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOAGOSEI CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOAGOSEI CO., LTD.

Toagosei ist ein japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, bekannt für Klebstoffe wie Aron Alpha. Die Patente betreffen Polymere, Klebstoffe und Spezialchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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