Verfahren zur Entfernung von Mikrobläschen aus einer Flüssigkeit

EP1718387 Art A2 8. November 2006

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1718387
Aktenzeichen
EP05705423
Anmeldetag
11. Januar 2005
Veröffentlichung
8. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
B01D19/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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