Verfahren zur Herstellung von CAF2-Linsenrohlingen, Insbesodere für die 193-Nm- und 157-Nm-Lithographie mit Minimierten Defekten
EP1718956
Art B1
25. Mai 2011
Anmelder: Hellma Materials GmbH & Co. KG, Schott AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1718956
- Aktenzeichen
- EP05715479
- Anmeldetag
- 23. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2011
- Erteilung
- 25. Mai 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/896C30B29/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Hellma Materials GmbH & Co. KG
Schott AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
SCHOTT
Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.
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Fritzsche, Thomas
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