Reinigen eines Wafer-Überführungsbehälters
EP1719153
Art B1
21. Oktober 2009
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1719153
- Aktenzeichen
- EP05712656
- Anmeldetag
- 3. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2009
- Erteilung
- 21. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kirkham, Nicholas Andrew
NoneSevenoaks