Polymer-Kontaktloch-Ätzprozess

EP1719159 Art A2 8. November 2006

Anmelder: Northrop Grumman Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1719159
Aktenzeichen
EP05723198
Anmeldetag
16. Februar 2005
Veröffentlichung
8. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/30H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Northrop Grumman Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northrop Grumman

US-amerikanischer Rüstungs- und Luftfahrtkonzern mit Sitz in Virginia, tätig in den Bereichen Verteidigungselektronik, Flugzeugbau, Raumfahrt und Cybersicherheit.

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