Membranrahmen mit verstärkten Klebestellen

EP1720070 Art A3 22. November 2006

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1720070
Aktenzeichen
EP06014070
Anmeldetag
3. Dezember 2003
Veröffentlichung
22. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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