Zusammensetzungen und Verfahren für Immersionslithografie

EP1720072 Art B1 5. Juni 2019

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials, LLC, Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1720072
Aktenzeichen
EP06252260
Anmeldetag
27. April 2006
Veröffentlichung
5. Juni 2019
Erteilung
5. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F7/004G03F7/075
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Rohm and Haas Electronic Materials, LLC
Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rohm and Haas

Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.

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