Anordnung für die Regelung der Elektronenstrahlleistung einer Elektronenstrahlkanone
EP1720193
Art B1
23. April 2008
Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, ALD Vacuum Technologies GmbH, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1720193
- Aktenzeichen
- EP06004324
- Anmeldetag
- 3. März 2006
- Veröffentlichung
- 23. April 2008
- Erteilung
- 23. April 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials GmbH & Co. KG
ALD Vacuum Technologies GmbH
Applied Films GmbH & Co. KG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Schickedanz, Willi
Offenbach, Deutschland
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