Projektions-Elektronenmikroskop, Elektronenmikroskop, Exemplar-Oberflächenbeobachtungsverfahren und Mikrobauelementeherstellungsverfahren

EP1720194 Art A1 8. November 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION, EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1720194
Aktenzeichen: EP05703855
Anmeldetag: 13. Januar 2005
Veröffentlichung: 8. November 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/29H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von