Optisches System, Belichtungssystem und Belichtungsverfahren
EP1720199
Art B1
7. Dezember 2011
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1720199
- Aktenzeichen
- EP05703645
- Anmeldetag
- 14. Januar 2005
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2011
- Erteilung
- 7. Dezember 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G02B13/24G02B17/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Spaargaren, Jerome
London, Großbritannien
143
Patente gesamt
20
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte