Verfahren und Gerät zur Bestimmung des Werts von Prozessparametern auf der Basis von Streumessdaten, damit Hergestellte Halbleitervorrichtung
EP1721218
Art B1
4. April 2012
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1721218
- Aktenzeichen
- EP05710908
- Anmeldetag
- 22. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 4. April 2012
- Erteilung
- 4. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/27G01N21/47G01N21/956H01L21/66G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
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18
Fachgebiete
2
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-
van Westenbrugge, Andries
NoneDen Haag