Verfahren und Vorrichtung zur Inline-Prozesssteuerung des Cigs-Prozesses

EP1721339 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: Solibro Research AB, Solibro AB 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1721339
Aktenzeichen
EP05722187
Anmeldetag
4. März 2005
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Erteilung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/36H01L31/04H01L31/032C23C14/06C23C14/54C23C14/56
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Solibro Research AB
Solibro AB
Land
🇸🇪 Schweden

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Svanfeldt, Hans-Ake Uppsala, Schweden
54
Patente gesamt
20
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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