Randbelichtungsapparat, Beschichtungs- und Entwicklungsapparat und Randbelichtungsmethode

EP1722402 Art B1 30. Juni 2010

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1722402
Aktenzeichen: EP06009433
Anmeldetag: 8. Mai 2006
Veröffentlichung: 30. Juni 2010
Erteilung: 30. Juni 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G03F7/16G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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