Wässrige Dispersion für chemisch-mechanisches Polieren, chemisch-mechanisches Polierverfahren und Kit zur Zubereitung einer wässrigen Dispersion für chemisch-mechanisches Polieren

EP1724317 Art B1 22. Oktober 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1724317
Aktenzeichen: EP06113995
Anmeldetag: 16. Mai 2006
Veröffentlichung: 22. Oktober 2008
Erteilung: 22. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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