Sonde und Sondenherstellungsverfahren
EP1724594
Art A1
22. November 2006
Anmelder: OCTEC INC., Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1724594
- Aktenzeichen
- EP05719913
- Anmeldetag
- 3. März 2005
- Veröffentlichung
- 22. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R1/067H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- OCTEC INC.
Tokyo Electron Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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