Laserlichtquelleneinrichtung, Belichtungsvorrichtung mit Dieser Laserlichtquelleneinrichtung und Maskenuntersuchungseinrichtung
EP1724633
Art B1
4. Januar 2017
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1724633
- Aktenzeichen
- EP05720652
- Anmeldetag
- 7. März 2005
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2017
- Erteilung
- 4. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02F1/37G03F1/84H01S3/23H04J14/02H04J14/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kanzlei
Maucher Jenkins
Freiburg im Breisgau, Deutschland
Maucher Jenkins ist eine anglo-deutsche IP-Kanzlei mit britischen Wurzeln bis 1937, entstanden 2016 durch Zusammenschluss mit dem Freiburger Haus. Präsent in Deutschland, Großbritannien, der Schweiz und China, als Brücke zwischen den Rechtsräumen.
9.246
Patente gesamt
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Patentanwälte
3
Standorte