Belichtungsverfahren und -System und Bauelementeherstellungsverfahren
EP1724816
Art A1
22. November 2006
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1724816
- Aktenzeichen
- EP05710063
- Anmeldetag
- 10. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 22. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schmidt, Karsten
München, Deutschland
375
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte