Zweiflüssigkeits-Düse zum Reinigen eines Substrats und Substratreinigungseinrichtung

EP1724820 Art B1 25. Juli 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1724820
Aktenzeichen: EP05720344
Anmeldetag: 9. März 2005
Veröffentlichung: 25. Juli 2012
Erteilung: 25. Juli 2012
Rechtsraum: EP
IPC: B05B7/04B08B3/02B01F3/04H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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