System, Verfahren und Vorrichtung für Trockenätzung mit Selbstreinigung
EP1725344
Art A2
29. November 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1725344
- Aktenzeichen
- EP04815901
- Anmeldetag
- 30. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 29. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B08B6/00B08B9/00H01L21/302B44C1/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Wombwell, Francis
Birkenhead, Großbritannien
789
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte