System und Verfahren zur Fluidstromsteuerung
EP1725921
Art A2
29. November 2006
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1725921
- Aktenzeichen
- EP05712955
- Anmeldetag
- 7. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 29. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wörz Patentanwälte PartG mbB
Stuttgart, Deutschland
Kanzlei mit Stammsitz Stuttgart und Standort Heilbronn, über 25 Jahre Erfahrung im gewerblichen Rechtsschutz. Berät zu Patenten, Marken und Designs auf Deutsch, Englisch und Italienisch, mit besonderem Bezug zu italienischen Geschäftspartnern.
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