Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen von Substraten
EP1726035
Art A1
29. November 2006
Anmelder: Applied Materials, Inc., SCP U.S., Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1726035
- Aktenzeichen
- EP05723866
- Anmeldetag
- 25. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 29. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
SCP U.S., Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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