Sequentielle Lithographische Verfahren zur Reduktion von Stapelfehler-Nukleierungsstellen und Strukturen mit Verringerten Stapelfehler-Nukleierungsstellen

EP1726037 Art B1 28. April 2010

Anmelder: Cree, Inc., CREE, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1726037
Aktenzeichen
EP05760477
Anmeldetag
14. Februar 2005
Veröffentlichung
28. April 2010
Erteilung
28. April 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Cree, Inc.
CREE, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cree

US-amerikanischer Halbleiterhersteller, bekannt für LED- und Leistungshalbleitertechnik auf Siliziumkarbid-Basis. Das Unternehmen benannte sich 2021 in Wolfspeed um.

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