Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung

EP1726608 Art A1 29. November 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1726608
Aktenzeichen: EP05720982
Anmeldetag: 17. März 2005
Veröffentlichung: 29. November 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C08G77/14G03F7/039G03F7/075H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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