Kohlenstoffhaltiger Dünner Film, Herstellungsverfahren dafür und Element unter Verwendung des Dünnen Films

EP1726680 Art B1 5. Oktober 2016

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1726680
Aktenzeichen
EP05719554
Anmeldetag
25. Februar 2005
Veröffentlichung
5. Oktober 2016
Erteilung
5. Oktober 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/58C23C14/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Japan Science and Technology Agency
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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