System und Verfahren zur Bestimmung der Oberflächenform eines Objekts und Verfahren zur Herstellung eines Objekts mit einer bestimmten Oberflächenform
EP1726914
Art A3
3. Januar 2007
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1726914
- Aktenzeichen
- EP06005092
- Anmeldetag
- 13. März 2006
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/25G01M11/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
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