Optisches System und Verfahren zum Betreiben desselben
EP1726993
Art A1
29. November 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1726993
- Aktenzeichen
- EP06010728
- Anmeldetag
- 24. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 29. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B27/00G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle
Münster, Deutschland
19
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13
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-
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche · Wiesbaden