Letzte Linse eines Immersionslithografiegeräts
EP1726995
Art B1
27. August 2008
Anmelder: Tokuyama Corporation, TOKUYAMA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1726995
- Aktenzeichen
- EP06252734
- Anmeldetag
- 25. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 27. August 2008
- Erteilung
- 27. August 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokuyama Corporation
TOKUYAMA CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Hall, Matthew Benjamin
London, Großbritannien
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Patente gesamt
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