Verfahren zur Musterung mit hoher Auflösung
EP1727194
Art A1
29. November 2006
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1727194
- Aktenzeichen
- EP05447123
- Anmeldetag
- 27. Mai 2005
- Veröffentlichung
- 29. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Microelektronica Centrum vzw ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Fachgebiete
Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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