Abscheidung durch Kathodische Magnetronpulverisierung in Pulsmodus mit Vorionisation
EP1727924
Art A1
6. Dezember 2006
Anmelder: Materia Nova A.S.B.L, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Paris-Sud, Universite Paris-Sud 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1727924
- Aktenzeichen
- EP05728585
- Anmeldetag
- 22. März 2005
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/35H01J37/34
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Materia Nova A.S.B.L
Centre National de la Recherche Scientifique
Université Paris-Sud
Universite Paris-Sud - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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