Verfahren zur Ausbildung Dünner Schichten aus Siliziumnitrid auf Substratoberflächen

EP1727925 Art B1 4. August 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung der angewand ten Forschung e.v. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1727925
Aktenzeichen: EP05736348
Anmeldetag: 22. März 2005
Veröffentlichung: 4. August 2010
Erteilung: 4. August 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/452

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung der angewand ten Forschung e.v.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

10.117 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von