Vorrichtung zur Herstellung von Siliciumfilmen
EP1728891
Art A1
6. Dezember 2006
Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1728891
- Aktenzeichen
- EP05721588
- Anmeldetag
- 22. März 2005
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/14C23C14/34H01L21/203
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nissin Electric Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nissin Electric
Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.
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Vertreten von
Barz, Peter
München, Deutschland
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