Beschichtungsverfahren mit atomaren Schichten (ald) zum Erzeugen einer Schicht hoher Qualität

EP1728894 Art B1 15. Oktober 2008

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1728894
Aktenzeichen: EP06114855
Anmeldetag: 1. Juni 2006
Veröffentlichung: 15. Oktober 2008
Erteilung: 15. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC)
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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