Positiv Arbeitende Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung
EP1729176
Art B1
28. Juni 2017
Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1729176
- Aktenzeichen
- EP05721412
- Anmeldetag
- 24. März 2005
- Veröffentlichung
- 28. Juni 2017
- Erteilung
- 28. Juni 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039C08F220/58G03F7/033G03F7/20H01L21/027H01L21/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JSR Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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Vertreten von
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TBK-Patent
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