Waferverarbeitungseinrichtung und Waferverarbeitungsverfahren
EP1729336
Art A1
6. Dezember 2006
Anmelder: Lintec Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1729336
- Aktenzeichen
- EP05730386
- Anmeldetag
- 13. April 2005
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/301
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lintec Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Lintec
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Klebstoffe, Klebebänder und Spezialfolien für Elektronik, Verpackung und industrielle Anwendungen.
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