Vorrichtung und Verfahren zum Schutz eines optischen Bauteils, inbesondere in einer EUV Quelle
EP1729550
Art B1
16. September 2015
Anmelder: Koninklijke Philips N.V., Philips Intellectual Property & Standards GmbH, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1729550
- Aktenzeichen
- EP06114302
- Anmeldetag
- 22. Mai 2006
- Veröffentlichung
- 16. September 2015
- Erteilung
- 16. September 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Koninklijke Philips N.V.
Philips Intellectual Property & Standards GmbH
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Philips
Niederländisches Technologieunternehmen mit Sitz in Amsterdam, spezialisiert auf Medizintechnik, Diagnosegeräte, Patientenüberwachung sowie Gesundheits- und Wellnessprodukte.
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🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
10.123 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Verweij, Petronella Daniëlle
NoneEindhoven
-
Volmer, Georg
NoneAachen