Sequenz aus Schrubben eines Substrats mit einer Bürste und dessen Näherungsreinigung und Trocknung unter Verwendung Kompatibler Chemikalien und Näherungssubstratvorbereitungssequenz sowie Verfahren, Vorrichtungen und Systeme zur Durchführung Derselben
EP1729624
Art A1
13. Dezember 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1729624
- Aktenzeichen
- EP05730308
- Anmeldetag
- 25. März 2005
- Veröffentlichung
- 13. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- A47L15/00A47L25/00B08B7/00B08B3/00B08B1/02B08B7/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Forresters IP LLP
München, Deutschland
Forresters IP LLP feierte 2024 sein 140-jähriges Bestehen, gegründet bereits 1884, und zählt zu Großbritanniens traditionsreichsten IP-Kanzleien mit Büros in München, London, Birmingham und Liverpool. Alle Patentanwälte sind European Patent Attorneys, die Financial Times zählte sie mehrfach zu Europas führenden Patentkanzleien.
11.380
Patente gesamt
5
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Wombwell, Francis
NoneBirkenhead