Verfahren zum Korrigieren von Elektronenstrahl-Belichtungsdaten
EP1732107
Art A1
13. Dezember 2006
Anmelder: Fujitsu Semiconductor Limited, Fujitsu Microelectronics Limited, Fujitsu Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1732107
- Aktenzeichen
- EP04724406
- Anmeldetag
- 30. März 2004
- Veröffentlichung
- 13. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20G03F1/16H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujitsu Semiconductor Limited
Fujitsu Microelectronics Limited
Fujitsu Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujitsu
Japanisches Unternehmen für Informationstechnik, das Computer, Server, Netzwerktechnik sowie IT-Dienstleistungen und Softwarelösungen entwickelt und anbietet.
9.047 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Fenlon, Christine Lesley
London, Großbritannien
1.693
Patente gesamt
33
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Sunderland, James Harry
NoneMünchen