Beschichter/entwickler und Beschichtungs-/ Entwicklungsverfahren

EP1732108 Art B1 25. September 2013

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1732108
Aktenzeichen: EP04807190
Anmeldetag: 16. Dezember 2004
Veröffentlichung: 25. September 2013
Erteilung: 25. September 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/16G03F7/20G03F7/30H01L21/67G03F7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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