Sondenvorrichtung, mit der Sondenvorrichtung Ausgestattete Waferuntersuchungsvorrichtung und Waferuntersuchungsverfahren

EP1732120 Art A1 13. Dezember 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1732120
Aktenzeichen: EP05727781
Anmeldetag: 30. März 2005
Veröffentlichung: 13. Dezember 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01R1/06G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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