Fernkammerverfahren zum Entfernen von Oberflächenablagerungen
EP1733072
Art A2
20. Dezember 2006
Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1733072
- Aktenzeichen
- EP05760380
- Anmeldetag
- 24. März 2005
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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Vertreten von
Matthews, Derek Peter
London, Großbritannien
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