Verfahren und System zur Run-To-Run-Steuerung

EP1733325 Art A2 20. Dezember 2006

Anmelder: Tokyo Electron Ltd., ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1733325
Aktenzeichen: EP05712275
Anmeldetag: 1. Februar 2005
Veröffentlichung: 20. Dezember 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G06F19/00// G05B13/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Ltd.
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

1.708 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von