Vertikale Wärmebehandlungsvorrichtung und Substrat-Transferverfahren
EP1734564
Art B1
8. Oktober 2008
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1734564
- Aktenzeichen
- EP06076596
- Anmeldetag
- 23. August 2001
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2008
- Erteilung
- 8. Oktober 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Ferguson, Alexander
Den Haag, Niederlande
194
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