Vefahren zur Herstellung eines SIMOX-Wafers und SIMOX-Wafer.

EP1734575 Art A1 20. Dezember 2006

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1734575
Aktenzeichen
EP06011986
Anmeldetag
9. Juni 2006
Veröffentlichung
20. Dezember 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/265// H01L21/324
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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