System und Verfahren zur Gepulsten Massenstromzuführung
EP1735480
Art A1
27. Dezember 2006
Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1735480
- Aktenzeichen
- EP05723535
- Anmeldetag
- 23. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 27. Dezember 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Rickard, David John
London, Großbritannien
1.879
Patente gesamt
33
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hill, Justin John
NoneLondon