Aktivitätsverwaltungssystem und Benutzungsverfahren

EP1735738 Art A2 27. Dezember 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1735738
Aktenzeichen: EP05712785
Anmeldetag: 7. Februar 2005
Veröffentlichung: 27. Dezember 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G06Q10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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