Verfahren zur Reinigung und Ätzung eines Substrates mit einer Transparenten, Leitfähigen Oxidschicht sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

EP1735819 Art B1 9. Juni 2010

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1735819
Aktenzeichen: EP05738775
Anmeldetag: 31. März 2005
Veröffentlichung: 9. Juni 2010
Erteilung: 9. Juni 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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