Polymerverbindung, Photoresistzusammensetzung mit einer Derartigen Polymerverbindung und Verfahren zur Ausbildung einer Resiststruktur

EP1736485 Art B1 31. Juli 2013

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1736485
Aktenzeichen
EP05728789
Anmeldetag
5. April 2005
Veröffentlichung
31. Juli 2013
Erteilung
31. Juli 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C08F8/00C07C69/54C08F20/20G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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