Flüssigkeitsbehandlungsvorrichtung und Flüssigkeitsbehandlungsverfahren

EP1736568 Art A1 27. Dezember 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1736568
Aktenzeichen: EP05727891
Anmeldetag: 30. März 2005
Veröffentlichung: 27. Dezember 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/08H01L21/304B08B3/04B08B3/00B08B3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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